近日，在樂山市人民政府副秘書長唐代祥、公司副董事長石思慧、四川紅華實(shí)業(yè)有限公司（以下簡稱“紅華實(shí)業(yè)”）董事長朱紀(jì)的共同見證下，公司總經(jīng)理傅鑄紅和紅華實(shí)業(yè)的總經(jīng)理彭元明代表雙方簽署了高純?nèi)�氟化氯生產(chǎn)技術(shù)合作開發(fā)協(xié)議。

    根據(jù)公司的發(fā)展戰(zhàn)略宗旨，公司持續(xù)以特種氣體的研發(fā)為核心，打破更多的產(chǎn)品進(jìn)口替代為使命，突破更多、更難的半導(dǎo)體材料應(yīng)用技術(shù)難點(diǎn)為目標(biāo)。經(jīng)過多次調(diào)研、交流和探索選擇了國內(nèi)技術(shù)力量雄厚、檢測手段齊全、研發(fā)能力強(qiáng)勁的紅華實(shí)業(yè)為合作對象，擬共同研發(fā)高純?nèi)�氟化氯的核心技術(shù)，一舉打破國外壟斷市場的局面，使高純?nèi)�氟化氯快速�?shí)現(xiàn)國產(chǎn)化替代。
    2010年，日本關(guān)東化學(xué)、中央旭硝子、巖谷產(chǎn)業(yè)就已規(guī)�；�生產(chǎn)出高純?nèi)�氟化氯產(chǎn)品，但我國仍少見高純?nèi)�氟化氯可用于芯片制程的產(chǎn)業(yè)化報(bào)道。目前，仍以日本、美國等國家壟斷國內(nèi)的市場。高純?nèi)�氟化氯主要用于芯片制程中的蝕刻、硅片和腔體清洗，由于其高氟碳比和較強(qiáng)的氟離子自由基，在先進(jìn)制程中的應(yīng)用越來越廣泛，特別在14nm以下制程中，是不可替代的新型蝕刻材料。此外，高純?nèi)�氟化氯相比于普通的氟碳蝕刻材料，其極低的GWP值（全球變暖潛能值），也滿足未來芯片制程向更環(huán)保、更加可持續(xù)發(fā)展的需求。 此次合作，雙方強(qiáng)強(qiáng)聯(lián)合，充分發(fā)揮雙方多年的研究、應(yīng)用成果和科研團(tuán)隊(duì)優(yōu)勢，進(jìn)一步實(shí)現(xiàn)技術(shù)突破，從而達(dá)到進(jìn)口替代的目標(biāo)，并同時(shí)對促進(jìn)國家半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展上具有重要意義。隨著半導(dǎo)體工藝的不斷升級迭代，未來高純?nèi)�氟化氯在芯片制造、第三代半�?dǎo)體、面板等行業(yè)擁有廣闊的市場潛力。此次合作將有助于提高公司的盈利能力和核心競爭力，助力公司深耕特種氣體行業(yè)。
    樂山市經(jīng)濟(jì)與信息化局，公司運(yùn)營總監(jiān)、董事長助理，紅華實(shí)業(yè)總會(huì)計(jì)師、副總經(jīng)理、總工程師、科技委委員以及計(jì)劃部、財(cái)會(huì)部、生產(chǎn)技術(shù)部、安全環(huán)保部、保密部、二分廠、分析計(jì)量室等相關(guān)單位負(fù)責(zé)人參加簽約儀式。